LAM 底板 810 - A38647 - 101 是泛林半导体设备中的电子组件。其功能是处理信号、通信和控制，具备高速信号传输能力，集成多种功能电路，采用多层构造以保证信号完整性和抗干扰性2。它专为 LAM 设备设计，与其他组件无缝配合，支持特定通信协议和接口标准2。主要应用于蚀刻、沉积等半导体制造设备，用于管理制程操作，如温度控制、气体流量监控等，还可配合伺服控制系统实现运动部件的精确定位2。