应用材料的 REMOTE AC RACK UVR 远程等离子源，能在真空环境下产生等离子体，用于腔室清洗、薄膜蚀刻、表面处理等工艺，在半导体制造、材料科学等领域有广泛应用，可提高工艺精度与产品质量。