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应用材料的 CENTRIS ITZA 4 ZONE 蚀刻机,能通过精确控制等离子体,实现对硅、金属和介质等材料的高精度蚀刻,主要应用于半导体制造中芯片的精细图案化加工,以制造更小、更复杂的芯片结构。
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