Adixen ATH 500 M 分子泵采用五轴控制全磁浮轴承，抽速高、极限真空度低，能快速抽气获得高真空。可用于半导体制造、分析仪器、科研装置等领域，为相关工艺和研究提供清洁的高真空环境13。