TOKYO ELECTRON LIMITED CELIESTA + 晶圆清洗机，采用先进清洗技术，能有效去除晶圆表面颗粒、有机物、金属杂质等污染物，应用于半导体制造中光刻、刻蚀等多工序间的清洗，确保晶圆洁净，提升芯片良率。