MKS GHW - 50A 射频发生器可输出稳定射频功率，精准调控频率、功率等参数，具备良好匹配性与可靠性。用于半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺，为等离子体生成提供能量，在芯片制造、材料涂层等领域发挥重要作用。