MKS R*evolution 远程等离子源能高效产生低温等离子体，具有灵活、精度高、损伤小等特点12。可用于半导体制造中的薄膜蚀刻、腔室清洗，以及材料改性、表面处理等工艺，在半导体、材料等领域应用广泛1。