YASKAWA XU - RCM9206.R (A) 晶圆搬运机具备高精度抓取与定位功能，能精准感知晶圆状态。应用于半导体制造中光刻、蚀刻等工序间的晶圆搬运，也用于光伏及高端电子元器件制造中类似晶圆状元件的搬运。