爱发科 ULVAC CCMT-1000D 陶瓷隔膜真空计，基于电容原理，通过陶瓷隔膜变形检测压力，可在低・中真空领域高精度测量绝对压力，不受气体种类影响，用于半导体、化工等行业及科研真空测量2。