翟柯 ZYGO 干涉仪 Zygo-FPM.G3.5HS2 基于相干扫描干涉测量法（CSI），可对光学元件、半导体晶圆、精密机械表面进行纳米级三维形貌测量，支持超光滑至粗糙表面检测，具备抗振性和高稳定性。其功能包括平面度、波前畸变、曲率半径分析，应用于光学制造、半导体加工、科研检测等领域，可实现快速高精度表面质量评估。