汉微科 HMI 晶圆检测扫描仪 escan 320 是电子束检测设备，基于电压衬度技术，可检测晶圆表面微小缺陷（如多晶硅桥连、颗粒污染）及底层电性缺陷，支持高分辨率扫描与缺陷标记11。其功能包括缺陷分类、3D 结构分析及与光学检测系统协同优化检测流程，适用于 28nm 及以下先进制程的晶圆制造环节，尤其在随机缺陷检测与热点区域分析中提供高精度结果113。主要应用于半导体工厂的质量控制，可定位物理缺陷并量化缺陷密度，保障芯片良率。