万机仪器 MKS UHV-26 AKK-ENVN 高真空气动阀可实现高真空系统中气体的快速通断，通过气动驱动开启，弹簧力关闭。应用于物理气相沉积、高能物理、质谱分析等需超高真空环境的领域。