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东电电子 TEL FORMULA-IS-H 是一款半导体蚀刻 / 灰化设备。具备高精度温度控制系统,可实现薄膜均匀沉积,利用脉冲 CO₂激光系统,能高效蚀刻且晶体损伤小,应用于半导体加工领域。
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