阿斯麦 ASM Eagle xp 等离子增强原子层沉积设备，可实现等离子增强原子层沉积，能沉积多种介质薄膜。主要应用于衬里、间隔层、刻蚀停止层等薄膜制备，适用于先进逻辑和存储领域34。