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阿斯麦 ASM DraGon 2300 晶圆搬运工业机器人可在半导体生产线中,实现 8/12 英寸晶圆在晶圆盒、预校准台和工作台间的自动化搬运,具备高精度定位与多设备联动功能,应用于晶圆制造等环节3。
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