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TRUMPF 电源 TRUPLASMA MF 7050 是一款中频电源,具有高精度调节和高效能量转换功能3。主要应用于半导体制造、太阳能电池生产等领域,为等离子体激发工艺提供稳定电源,以实现薄膜沉积、刻蚀等工艺3。
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