DAIHEN 射频电源 ATM - 30A 能产生高频电磁场，具备精确功率控制和频率稳定性。可用于等离子体产生、材料表面处理等。主要应用于半导体制造、镀膜工艺等领域，为相关工艺提供稳定射频能量。