佳能光刻机 FPA-6000ES6A 是 KrF 扫描式光刻机1。它利用 248nm 激光，通过先进光学系统和工作台控制，将掩模图案精确转移到晶圆上，用于 90nm 及以上节点的半导体器件制造，如存储芯片和逻辑芯片247。