佳能光刻机 FPA-5500iza 是 i 线步进式光刻机，光源为 365nm 水银灯。它通过精确控制光罩与晶圆的相对位置，实现高精度曝光，可用于 28nm 及以上节点芯片制造，也适用于全画幅 CMOS 等小型显示设备制造。