DAINIPPON SCREEN MFG 半导体清洗设备 SS - 3000 - AR 是晶圆清洗系统，可对 300mm 晶圆的表面和背面进行清洁，通过软喷、刷洗等方式去除杂质，具有高效、低耗、自动化程度高等特点，应用于半导体制造工艺中。