KLA Tencor 的 KLA/eDR - 5210S 是晶圆检测设备，基于电子束技术，能高精度检测晶圆表面缺陷，对缺陷进行分类和定位，广泛应用于半导体制造企业和晶圆厂，确保晶圆质量，提升芯片制造良率。