应用材料的 REMOTE AC RACK UVR,BASIC,PRODUCER 远程等离子源，可产生远程等离子体，用于晶圆表面处理等。能实现高效、均匀的等离子体处理，应用于半导体制造中薄膜沉积、刻蚀等工艺的预处理或后处理环节。