东京电子的 TSP-30555SS 蚀刻机，可能是其低温蚀刻设备系列产品。具有在低温环境下精确控制蚀刻深度和精度的功能，可实现高效蚀刻，主要应用于 3D NAND 闪存芯片制造等领域，助力提升芯片性能与容量。