ASM 薄膜沉积设备 EAGLE - 12 是一款用于半导体制造的 PECVD 设备5。它通过化学气相沉积的方法，在晶圆表面精确沉积各种薄膜材料，如氧化物、氮化物等，以满足半导体器件制造中对薄膜的高精度要求。