ULVAC 旧真空泵 PMB 006CM 属于机械增压泵，采用无油设计，泵腔无润滑油脂，可稳定处理水蒸气或溶剂蒸汽39。其抽速达 500-600m³/h（50/60Hz），极限压力 4.0×10⁻¹Pa，主要部件经阳极氧化处理，耐腐蚀性能优异39。常与前级泵联用，提升 10kPa 至 0.1Pa 区间抽速，适用于真空加热炉、熔炼炉、空间模拟舱等大体积抽气场景，以及半导体制造中的蒸发、溅射工艺310。