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ULVAC 真空泵 PRC - 006A 是机械增压泵，能在 10kPa 至 0.1Pa 范围提高抽速2。它采用封闭电机，无轴封漏油问题，适用于半导体、液晶制造，也用于真空干燥、分析仪器等领域1。
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