NIKON 光刻机 AMI-3500 是专为中小尺寸晶圆设计的自动宏观检测设备，集成光学衍射与 3D 轮廓分析技术，支持 30nm 线宽检测15。其核心功能包括晶圆缺陷识别、接触孔 CD 均匀性优化及快速工艺校正，可实时监测光刻胶图像并生成调整参数，适用于 LCD 面板、半导体制造中的质量控制场景12。