EOWAROS 分子泵 127011148 为涡轮分子泵，采用高速旋转叶轮技术，可实现 10⁻⁶ Pa 级高真空环境，抽速覆盖中高范围。其耐腐蚀设计适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等工艺，兼容腐蚀性气体处理。设备支持与前级泵联动，广泛应用于电子显微镜、高能加速器及精密镀膜设备，通过稳定抽气性能保障工艺重复性。该泵具备磁悬浮轴承技术，可延长使用寿命并降低维护频率，满足高端科研与工业生产需求。