SII NANO TECHNOLOGY INC 的 SPI4000 探针台专为半导体晶圆测试设计，集成高精度运动系统与光学定位模块，支持 300mm 晶圆的纳米级接触测试。其核心功能包括自动化探针定位、多参数电性能测量及环境控制（如真空、变温），可实现器件 IV 特性分析、射频参数测试及失效分析。设备兼容先进制程研发与量产场景，尤其适用于 5nm 以下节点芯片的可靠性验证，广泛应用于半导体制造、光电子器件及 MEMS 领域。