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ULVAC 干式真空泵 LR3600 采用无油设计,通过多级罗茨技术实现高抽速与稳定真空环境,极限压力达 10⁻³ Pa 级111。其铝制泵体确保均匀温度分布,内部部件经特殊处理,耐腐
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