EBARA 干式真空泵 AA40W 采用无油设计，通过多级罗茨技术实现高抽速与稳定真空环境，极限压力达 10⁻³ Pa 级。其铝制泵体确保均匀温度分布，内部部件经特殊处理，耐腐蚀性强，可处理 CVD、蚀刻等工艺中的腐蚀性气体。设备支持与涡轮分子泵联动，广泛应用于半导体制造中的 PVD 镀膜、晶圆处理及 FPD 生产线，尤其适用于快速排气场景以提升产能。凭借磁悬浮轴承和电源故障保护功能，LR3600 在精密制造中兼顾可靠性与能效，满足高端工业需求。