ULVAC 干式真空泵 LR600 采用多级罗茨技术，无油设计，抽速达 80 m³/h（60Hz），极限压力低至 5.0 Pa。其低温区域均热化设计缩短排气时间，特殊表面处理部件增强耐腐蚀性，可处理 Cl₂、CF₄等腐蚀性气体。支持氮气吹扫（5 SLM）及气镇功能，适配成膜设备（如溅射、气相沉积）及涡轮分子泵前级，广泛应用于半导体制造中的 PVD 工艺、晶圆处理及 LED 封装等洁净环境场景。设备具备通信功能，可远程监控运行状态，兼顾高效与可靠性。