KASHIYAMA 干式真空泵 SDE603A-019 采用螺杆式无油设计，抽速达 10,000 L/min，极限压力低至 0.5 Pa，配备变频驱动（VFD），能耗较传统机型降低 40%314。转子与腔体采用耐腐蚀材料（如不锈钢镀层或陶瓷涂层），可耐受 Cl₂、CF₄等腐蚀性气体及颗粒物，适合半导体晶圆制造、CVD/PVD 设备抽真空等洁净环境需求312。该泵支持氮气吹扫功能，广泛应用于半导体、LED 封装、平板显示器（FPD）生产及锂电池干燥等场景，兼顾高效与可靠性915。