EBARA 干式真空泵 A10SN 是风冷式，抽速达 1000 - 1200L/min，极限压力低至 4 - 5×10⁻²Pa2。它采用多级罗茨转子，有完善保护系统，适用于分析仪器、电子显微镜等对真空度要求高的洁净环境。