ULVAC 机械增压泵 PRC-006A 采用屏蔽电机，无轴封漏油问题，油套管腔无油，性能稳定1。能提升 10kPa - 0.1Pa 范围的抽速，主要用于半导体、液晶制造等对洁净度要求高的领域，也用于真空干燥、分析仪器等2。