ULVAC 罗茨泵 PRC-012A 采用屏蔽电机，无轴封漏油问题，油套管腔无油，性能稳定。与前级泵配合可提升 10kPa - 0.1Pa 范围抽速，用于半导体、液晶制造、真空干燥等领域。