ALCATEL 干式真空泵 ADS 1202P 采用多级罗茨技术，抽速达 676 cfm（60 Hz），极限压力 3.7×10⁻⁴ torr5，专为中等工艺设计。集成 N₂吹扫和温度控制系统，可稀释工艺气体并防止冷凝，适合处理含颗粒或腐蚀性气体69。其紧凑设计兼容 SEMI S2 标准，适用于半导体制造中的灰化、剥离、介质刻蚀及中等 CVD 工艺69，同时支持智能监控与远程管理，降低维护成本。