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EDWARDS 涡轮分子泵 EXT250 采用先进技术,能快速抽取气体达到 10⁻¹⁰mbar 超高真空,具有无油、低振动、低维护等特点。适用于 EUV 光刻、量子计算、表面分析等对真空度要求极高的场景。
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