ANNECY 涡轮分子泵 ATH 500M 采用五轴控制全磁浮轴承，免维护、清洁无油。抽速可达 550l/s，极限真空度 < 1×10⁻⁸hPa。广泛应用于半导体、科研、表面分析等领域，能提供高真空环境。