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三垦 SAMCO PD-270STP 液态源等离子体增强(LSCVD)

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SAMCO 气相沉淀设备 PD-270STP 专为半导体及精密制造设计,采用物理气相沉积(PVD)技术,可在晶圆、玻璃或金属基材表面沉积高精度薄膜,支持金属、氧化物、氮化物等多种材料。设备具备高真空环境控制与均匀性沉积能力,适用于集成电路制造、先进封装(如 Fan-Out、SiP)、MEMS 器件及光学涂层等场景,尤其在 5G 通信、汽车电子领域表现优异,可显著提升制程良率与可靠性。

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