RUDOLPH TECHNOLOGY 的通用框架处理器 UFH 专为半导体制造设计，集成高精度数据处理与实时分析能力，支持晶圆检测、缺陷分类及工艺参数优化。其模块化架构兼容多传感器与算法，可处理纳米级缺陷数据，适用于逻辑芯片、先进封装（如 Fan-Out、SiP）及 MEMS 器件的质量控制，显著提升量产良率与制程稳定性。