TECHNOS 光谱仪 TREX610T 是全反射 X 射线荧光光谱仪，用于检测硅抛光片等样品表面的金属沾污。它通过 X 射线照射样品，激发二次 X 光荧光，由探测器接收相关数据，经计算机分析得出样品表面的金属沾污情况。