EBARA 研磨机 EPO - 222T 可对硅、蓝宝石等多种衬底进行研磨、抛光处理2。它通过多轴运动的主轴实现高精度加工，具备自动化功能，应用于半导体制造、科研等领域，能提高产品质量和加工效率。