NIKON OPTISTATION-3200 是专为半导体晶圆检测设计的全自动光学显微镜系统,支持 300mm 晶圆,搭载 CFI60 光学器件与 DUV(248nm)模块,可实现高对比度成像与微米级缺陷识别316。其核心功能包括表面、中心背面及边缘背面的宏观检查,集成自动缺陷分类(ADC)与光学字符识别(OCR)技术,结合高精度定位系统与自动化传输模块,每小时可检测多片晶圆316。设备兼容工厂自动化布局,适用于逻辑芯片、存储芯片及显示面板的研发与量产,尤其在先进制程(如 5nm 以下)的缺陷分析和工艺优化中表现优异,可显著提升良率并支持在线实时监控116。