ASM 530是一种先进的芯片粘合技术设备,它结合了卓越的精度、精度和控制能力.它旨在使用户能够产生高性能的芯片到基板的键并实现一致的键合强度。530由三轴电机驱动系统、可完全调节的可编程束缚头、高性能精密称重单元和一系列先进的过程控制系统组成。对三轴电机传动机进行了微调，以实现高精度、抑制噪声的运动控制，并允许对束缚头进行精确定位。束缚头可以很容易地配置为执行各种键合操作，包括模具附着和电线键合。这允许在键合操作期间控制各种工艺参数。高性能的精密称重工具使ASM 530能够准确地测量粘结在创建之前和之后的重量。这将为操作员提供一个精确的指示,说明模具或组件的连接精度。资产还具有一系列过程控制系统，包括反馈控制和债券参数的自动调整，以及自动失速检测模型。530还提供了一系列先进的监测系统,包括主动热控制以防止粘结过程过热,以及用于所需模具力的热压缩设备。它还包括一系列先进的测试和验证工具，如磁共振成像、X射线荧光和系统噪声检测。总体而言，ASM 530是一个非常先进的芯片结合技术单元，它为生产高性能芯片与基板结合提供了卓越的控制和精度。凭借其先进的监控系统，用户可以实现一致的粘结强度，并以最高的精度控制广泛的工艺参数。