ASML Twinscan XT 1250D是一种先进的晶圆步进器，旨在为微电子行业提供光刻服务。由荷兰制造商ASML设计建造。ASML TWINSCAN XT:1250D能够执行传统和先进的步进扫描技术,使用户能够在短短几秒钟内以高精度对复杂的多层特征进行石版印刷。该设备采用1250mm扫描场尺寸，使用户能够快速准确地将闸门、鳍片、通风孔、深孔沟等大小结构图桉到10：1的纵横比。XT 1250D的光刻引擎由ASML开发的262W固态激光器提供动力，能够在大型基板上打印高分辨率图像。它在11nm至13.3nm波长的EUV光谱范围内运行，提供了打印不同设备类型的通用功能。该系统能够曝光分辨率高达20纳米的图样。该单元支持多种迭加技术，包括纳米尺度精度和静态或动态配准技术。它配备了一个专利的"超精确"定位器，使用户能够准确对齐基板或层跨场。该机器还配备了自动对焦工具,可确保始终保持最佳成像性能。TWINSCAN XT 1250 D专为低维护而设计,具有软件控制的维护程序,以及多种内置工具和诊断功能,可轻松检测和纠正任何问题。它还提供了远程服务选项,允许用户通过安全连接与资产进行通信。Twinscan XT 1250D为各种行业的光刻应用提供了无与伦比的性能、准确性和多功能性。是高质量量产微电子元件的理想工具。