ASML AT-850C是一种先进的晶片步进器，旨在准确、精确地定义半导体工业最新一代半导体晶片的微观模式。通过将光投射到沉积在晶圆上的光刻胶薄层上，可以创建构成集成电路中使用的硅酸盐元件基础的精确图样。ASML AT850C是一种全自动扫描仪，它以一次旋转的方式扫描整个晶片场，允许图像一次投影到晶片的整个表面积上。这允许高效和一致的光刻。该系统具有350 mm的舞台尺寸，允许将多个不同的晶片一次放置在舞台上，从而实现多次处理运行。AT:850C已设计为具有更高吞吐量实例的高级功能。这包括一个集成的、健壮的Litho Inspector,它可以在生产运行期间监视图样、缺陷和其他平版印刷问题。晶片步进器具有先进的阶段，即使是最小的特征也能提供超强的对齐控制。这些阶段还可以以两种不同的旋转速度执行进程，从而使用户能够更好地控制多个进程。ASML AT 850C还采用了多种照明方法,包括激光直接成像（LDI）和光刻成像（PI）。利用这两种成像方法中的任何一种，都可以通过将晶圆的不同区域暴露在不同程度的光辐射下来创建高分辨率图像。微小到0.35微米的特性可以被解析，允许AT 850 C产生高度错综复杂和细腻的硅元件。ASML AT 850 C还具有先进的同步和异步运动控制和动力学功能，可实现极快的扫描速度和重复性。该系统基于模块化平台，意味着它可以针对特定的应用程序和流程进行定制，为用户提供了完全的灵活性。最后,AT850C是一个极其坚固、坚固、可靠的步进器,它不断地进行严格的质量保证测试,以确保它始终以最高性能运行。凭借其先进的特性和生产能力，它是当今市场上技术最先进的晶圆步进器之一。