ASML XT 1700FI是第五代全场浸入（FFI）晶圆步进器，用于半导体工业生产集成电路（IC）。这台机器配备了高度先进的自动准直器，在≤英寸的现场尺寸下提供了μ 0.2 ½米的卓越光刻性能和精度。ASML XT1700FI具有"氟化k"浸入式光学成像设备,可提供高达1.38的极高数值孔径（NA）,并可绘制8 nm至20 nm的特征尺寸图样。FFI系统在新的4D成像过程中使用了一种非聚焦介质，从而加快了吞吐量，从而提高了生产率；并设有一个用于分析晶片后图像处理的综合晶片跟踪和分析单元。该机的集成扫描技术能够减少变化，专注于成像目标，从而提高精度、均匀性和缺陷检测能力。XT:1700FI具有超过70 μ m的聚焦景深（FDOF）,使图像在整个图像中具有更精确的分辨率和清晰度。该机还采用了快速、低噪声的"臭氧清洁"机，以减少光掩模污染，减少75%的掩模污染，并配备了新的热建模工具，以优化空调，防止温度相关过程不均匀。ASML XT:1700FI晶片步进器还具有ASML高级计量功能,可准确测量曝光性能、缺陷控制、剂量控制和焦点控制。此外,该机器还具有先进的自动掩模加载系统,可减少装载2700 mm光掩模所需的时间,并提供各种配方、滤镜、监控和光刻材料选择。XT 1700 FI是先进光刻工艺和精密成像的理想工具。它提供了卓越的吞吐量、稳定性、准确性和可重复性,使IC制造商能够以更快的周转时间实现更严格的公差和提高的产量。