CANON FPA 2500 i2晶圆步进器（Wafer Stepper）是一种精密光刻工具，设计用于通过光刻成像处理多种超细线、图桉和特征。该设备采用5兆瓦ArF准分子激光器，满足超高精度电路和器件制造的严格要求。它能够在各种基板上印刷各种微电子设备，包括SOC品种和医疗部件。该系统由几个精密组件组成，如5兆瓦ArF准分子激光器、用于精密放置的XY级、光学精密透镜和6轴机器人结构。ArF准分子激光器以193 nm的波长输出，脉冲持续时间为10 ns，然后通过光学透镜将激光束定向到基板上。一旦梁入射到基板上，XY级用于精确定位应用程序所需的整体图样。CANON FPA-2500I2的6轴机器人结构是为最佳利用激光的能力而设计的。机器人采用多轴步进驱动器，允许亚微米定位，最大扫描速度为100,000mm/s。这样就可以在大面积分散场阵列中高精度放置特征。它还提供了多个并行扫描选项,允许在多个方向同时扫描。FPA-2500 I2晶片步进器为纳米加工需求提供了一个极好的选择。其精确度、速度和柔韧性的结合，使其成为微电子和医疗部件生产的理想解决方桉。该单元还提供各种后处理功能，如光束分析仪和一个集成的微型平面机。此外，这台机器还配备了CCD摄像机和栅格激光对准工具，两者都能有效地配准大面积图样。