CANON FPA 2000 i1是晶圆步进器，一种用于制造半导体器件的高精度仪器。为了提高半导体器件生产工艺的效率和精确度，该设备设计用于对准和定位单个和多个晶片。CANON FPA2000-I1配备了高度灵敏、精确的XY扫描级，用于将图样特征与晶圆图样精确对齐。该级由高分辨率直接驱动马达驱动，在WAAM（晶圆对准和掩蔽）过程中实现精确的扫描。此外,系统还配备了一个检查摄像头单元,该单元使用专有软件检查复杂的晶圆图样是否有缺陷或变化。FPA-2000I1的现场面积足以使各种处理器在单个晶片上阵列化。它具有高分辨率图像传感器和实时处理机，提供极高分辨率的单图桉。此外,它还配备了卤素高照明灯,可支撑各种晶圆基板的尺寸和形状,从而提高生产效率。FPA 2000 I1还具有高速矢量步进算法，可实现高速光刻曝光。位于XY级底部的是一个长长的真空槽,它配有多个吸盘,能够在整个曝光过程中安全、稳定地处理基板。这种高精度工具由CANON EDS-2（曝光数据存储资产）和CANON PST-3（工艺备用工具）管理，提供精确的晶片边缘检测、晶片运动过度阻尼和晶片级缺陷检查。CANON FPA 2000 I1还具有温度稳定的环境，以确保在不同的环境环境下一致运行。简而言之，FPA-2000 I 1是一种高精度晶圆步进器，旨在支持特殊半导体器件和电路的制造。是高速、精确晶圆对准和加工的理想仪器。它配备了精确的XY扫描阶段和长长的真空槽，并通过CANON专有软件程序进行管理。